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硅棒晶棒晶錠BCT400少子壽命測試儀

是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強偏置實現(xiàn)單晶缺陷密度計算

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  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2026-02-07
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是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強偏置實現(xiàn)單晶缺陷密度計算。


簡單介紹

  1. 用途(高頻光電導(dǎo))

用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊
體形無嚴(yán)格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體
內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)量的重要檢測項目。
2.設(shè)備組成
2.1光脈沖發(fā)生裝置
重復(fù)頻率>25次/s 脈寬>60μs 光脈沖關(guān)斷時間<1μs
紅外光源波長:1.06~1.09μm(測量硅單晶) 脈沖電流:5A~20A

測量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強偏置實現(xiàn)單晶缺陷密度計算。

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