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紅外激光少子壽命測(cè)試儀

紅外激光少子壽命 指半導(dǎo)體中非平衡少數(shù)載流子在紅外激光激發(fā)下從產(chǎn)生到復(fù)合的平均存活時(shí)間。 ?
測(cè)試方法
紅外脈沖激光 激發(fā)半導(dǎo)體材料，通過(guò) 微波光電導(dǎo)衰減法 （ μ-PCD ）檢測(cè)電導(dǎo)率變化，從而推算少子壽命。該方法利用紅外激光產(chǎn)生非平衡載流子，微波探測(cè)器檢測(cè)其發(fā)射/反射信號(hào)的指數(shù)衰減規(guī)律，通過(guò)擬合信號(hào)得出壽命值。

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  • 更新時(shí)間：2025-08-09
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少子壽命是半導(dǎo)體材料和器件的重要參數(shù)。它直接反映了材料的質(zhì)量和器件特性。能夠準(zhǔn)確的得到這個(gè)參數(shù)，對(duì)于半導(dǎo)體器件制造具有重要意義。
少子壽命指少子的平均生存時(shí)間，壽命標(biāo)志少子濃度減少到原值的1/e所經(jīng)歷的時(shí)間。對(duì)太陽(yáng)能電池來(lái)說(shuō)，少子壽命越短，電池效率越低。
少子，即少數(shù)載流子，是半導(dǎo)體物理的概念。 它相對(duì)于多子而言。
半導(dǎo)體材料中有電子和空穴兩種載流子。如果在半導(dǎo)體材料中某種載流子占少數(shù)，導(dǎo)電中起到次要作用，則稱它為少子。如：在N型半導(dǎo)體中，空穴是少數(shù)載流子，電子是多數(shù)載流子；在P型半導(dǎo)體中，空穴是多數(shù)載流子，電子是少數(shù)載流子。紅外脈沖激光 激發(fā)半導(dǎo)體材料，通過(guò) 微波光電導(dǎo)衰減法 （ μ-PCD ）檢測(cè)電導(dǎo)率變化，從而推算少子壽命。該方法利用紅外激光產(chǎn)生非平衡載流子，微波探測(cè)器檢測(cè)其發(fā)射/反射信號(hào)的指數(shù)衰減規(guī)律，通過(guò)擬合信號(hào)得出壽命值。

影響因素表面復(fù)合?：樣品表面狀態(tài)直接影響測(cè)試結(jié)果，表面缺陷會(huì)加速載流子復(fù)合，降低有效少子壽命。 ?

?摻雜濃度?：p型或n型摻雜會(huì)影響多數(shù)載流子濃度，間接影響少子壽命。 ?

  1. ?激光功率與波長(zhǎng)?：不同波長(zhǎng)激光激發(fā)效率不同，功率過(guò)高可能破壞樣品，需優(yōu)化參數(shù)。 ?測(cè)試設(shè)備

少子壽命測(cè)試儀 支持4種激光波長(zhǎng)（355nm-1480nm），可測(cè)量20ns至幾十毫秒的壽命范圍，測(cè)試硅晶圓片僅需5分鐘。 ?

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